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水冷式出力ヘッド

[alter]
alter社のマグネトロン電源と容易に接続可能な水冷式出力ヘッドです。出力ヘッドにはマグネトロンと保護回路及びアラーム機能が内蔵されておりますので、ケーブル等をマグネトロン電源と接続するだけでそのまま使用可能です。
出力ヘッドには、オープンフレーム式とクローズフレーム式の２種類あり使用用途により選択可能であり、オープンフレーム式では0.9～3.0kW、クローズフレーム式では0.9～10.0kW迄の幅広い出力ラインナップを取り揃えています。

製品特徴

・マイクロ波ヘッドの種類が豊富

主なアプリケーション

・P-CVD,エッチング,アッシング用
・半導体製造装置用
・食品パッケージ,PETボトルへのDLC成膜用
・各種工業用コーティング、熱処理プロセス用
・プラズマを用いた殺菌/消毒用
・化学分析プロセス用

製品ラインナップ

型名	出力電力	周波数(GHz)	導波管フランジ	サイズ
TM009	0.9kW@水冷	2.45	PDR26	305(H)×233(W)×218(L)mm クローズフレーム
	TM012	1.2kW@空冷	2.45	PDR26	305(H)×233(W)×218(L)mm クローズフレーム
	TM020	2.0kW@空冷	2.45	PDR26	305(H)×233(W)×218(L)mm クローズフレーム
	TM030	3.0kW@水冷	2.45	PDR26	305(H)×233(W)×218(L)mm クローズフレーム
	TM066	6kW@水冷	2.45	PDR26	300(H)×230(W)×300(L)mm クローズフレーム
	TM100	10kW@水冷＆空冷	2.45	PDR26	300(H)×230(W)×300(L)mm クローズフレーム
TX009	0.9kW@水冷	2.45	PDR26	325(H)×156(W)×190(L)mm オープンフレーム
	TX020	2.0kW@水冷	2.45	PDR26	325(H)×156(W)×190(L)mm オープンフレーム
	TX030	3.0kW@水冷	2.45	PDR26	325(H)×156(W)×190(L)mm オープンフレーム

※上記製品群は標準ラインナップです。
※お客様のご要求が標準製品と合わない場合はカスタムデザインにも対応しておりますので、弊社のRFエンジニアへお気軽にご相談下さい。
※本製品の仕様は予告なく変更する場合があります。

水冷式出力ヘッド

製品特徴

主なアプリケーション

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