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Langmuir Probe
ラングミュアプローブは、バルクプラズマにおいてプラズマのパラメータを測る際に、最も一般的で広く使われているプラズマ診断・特性の測定器の1つです。
測定項目
- ・フローティング電位
- ・プラズマ電位
- ・プラズマ密度
- ・イオン電流密度
- ・電子エネルギー分布機能 (EEDF)
- ・電子温度
測定機能
- ・時間平均
- ・時間分解能
- ・時間トレンド
機器構成
| 電気仕様、ソフト | 電圧スキャン範囲: -150V ～ +150V
電流範囲: 15nA ～ 1A 時間分解能: 12.5nS |
|---|---|
| プローブ | 1システムにダブルとシングル 標準： 300mm（カスタム可） |
| プローブのクリニーニング | 自動、交換可 |
| プローブの空間移動 | リニアドライブ機構で0.025mmステップで自動的に移動 |
| 真空フィードスルー | KF, CF 又はカスタム仕様の真空コネクタ |
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