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Semion System
Semionマルチセンサーは、多数のプラズマ測定センサーを使ってウエハ基板表面を叩くイオンエネルギーの均一性を測定します。
測定項目
- ・イオンエネルギー
- ・イオンフラックス
- ・負イオン
- ・温度
- ・バイアス電圧
測定機能
- ・時間平均
- ・時間分解能
- ・時間トレンド
機器構成
| 電気仕様、ソフト | 0-2,500 eV 完全自動ソフト |
|---|---|
| センサホルダ | 150mm, 200mm, 300mm, 450mm,カスタムサイズ |
| ボタンプローブ | 交換可能なセンサー |
| 真空フィードスルー | KF, CFまたはカスタム仕様の真空コネクタ |
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