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Vertex System
Vertex Multi Sensorは、ウエハ表面を叩くイオンの入射角分の均一性を、プラズマ・リアクタ内の複数の位置で測定します。
測定項目
- ・イオン入射角
- ・イオンエネルギー
- ・イオンフラックス
- ・負イオン
- ・温度
- ・バイアス電圧
測定機能
- ・時間平均
- ・時間分解能
- ・時間トレンド
プラズマチャンバ－内でウエハ表面を叩くイオンの角度配布を測ります。
例えば、これは次の様な一般的な問題の手助けに成ります。
- ・ダメージの特定
- ・ビームの逸脱
- ・弾性散乱
システムは、各々の角度分布でイオン・エネルギーを測ります。
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